一種在真空室外加熱和測溫并可調節(jié)高度的化學輔助離子束刻蝕系統(tǒng)樣品臺。它是在臺面下面接上波紋管和支撐桿,波紋管另一端通過圓環(huán)柱接在法蘭上,法蘭通過管壁與真空室底端法蘭相連,使加熱和測溫部分與真空室隔離,便于在大氣中進行操作,支撐桿通過一固定件伸出來,下端有螺紋,旋上螺母可調節(jié)臺面高度。
聲明:
“化學輔助離子束刻蝕系統(tǒng)樣品臺” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)