本專利公開了一種用于動態(tài)觀察碲鋅鎘材料化學(xué)腐蝕坑的裝置，裝置由樣品腐蝕單元、自動進液單元、廢液回收單元和觀察測控單元組成。將樣品固定在可進行光學(xué)觀察的腐蝕槽中，通過自動進液單元實現(xiàn)一種或多種腐蝕液和清洗液的自動注入、動態(tài)更新和順序切換，過程中產(chǎn)生的廢液由廢液回收單元即時回收，觀察測控單元集成了顯微鏡、CCD相機、測控軟件以及存儲設(shè)備，對材料腐蝕的微觀過程進行實時觀察、采集、顯示和存儲。本專利能夠?qū)崟r觀察記錄材料腐蝕坑從產(chǎn)生到消失的動態(tài)過程，能夠在固定顯微視場下原位完成多步腐蝕清洗工藝，能夠?qū)崿F(xiàn)腐蝕過程中腐蝕液的動態(tài)更新，有效提高了工藝的可控性、連續(xù)性和穩(wěn)定性，同時改善了腐蝕效果。