一種化學(xué)氣相沉積氣體導(dǎo)流機(jī)構(gòu)，涉及化學(xué)氣相沉積設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，包括布?xì)馔病⑸仙w、進(jìn)氣管、支撐件、安裝板、安裝管、安裝柱和分流罩；布?xì)馔矠榈锥朔忾]的圓筒結(jié)構(gòu)，布?xì)馔驳撞烤鶆蛟O(shè)置有多個(gè)出氣孔；上蓋設(shè)置在布?xì)馔采隙?；進(jìn)氣管設(shè)置在上蓋上，進(jìn)氣管與布?xì)馔策B通，進(jìn)氣管位于上蓋中部；支撐件設(shè)置在布?xì)馔矁?nèi)壁上，支撐件為上下開口且中空的圓臺結(jié)構(gòu)，支撐件上均勻設(shè)置有多個(gè)第一通孔；安裝板設(shè)在支撐件上端面，安裝板上設(shè)置有多個(gè)第二通孔；安裝管設(shè)置在安裝板上，安裝管位于進(jìn)氣管下方；安裝柱卡接在安裝管內(nèi)；分流罩設(shè)置在安裝柱上端。本實(shí)用新型使得膜厚測試更為簡單方便，制作成本低，降低了氣流大小不均勻?qū)怏w沉積膜厚度造成的影響。