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化學(xué)氣相沉積爐漏氣處理裝置

824   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 07:00:44
本實(shí)用新型涉及化學(xué)氣相沉積設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種化學(xué)氣相沉積爐漏氣處理裝置,解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺點(diǎn),包括爐體,所述爐體的外部包裹有隔熱層,所述隔熱層的外部包裹有防漏氣包裹層,所述防漏氣包裹層的一側(cè)通過(guò)法蘭盤固定連接有抽氣管,且防漏氣包裹層上開(kāi)設(shè)有若干個(gè)通孔,在漏氣時(shí)由于防漏氣包裹層與爐體之間為真空狀態(tài),當(dāng)氣體泄露時(shí),會(huì)在泄露區(qū)域內(nèi)使對(duì)應(yīng)的氣囊充氣鼓起,便于技術(shù)人員尋找爐體的漏氣點(diǎn),具有較強(qiáng)的實(shí)用性,沉積爐正常工作時(shí)氣囊收納在通孔的內(nèi)部,漏氣時(shí)氣囊充氣膨脹至通孔的外部,紅外傳感器能夠在第一時(shí)間檢測(cè)到氣體泄露,進(jìn)而發(fā)出警報(bào)提示工作人員。
聲明:
“化學(xué)氣相沉積爐漏氣處理裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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