本發(fā)明涉及一種化學(xué)氣相沉積機(jī)臺(tái)，包括標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械界面、前端部分、機(jī)械手臂、緩存處、緩沖區(qū)和沉積腔體，其中所述標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械界面是晶片進(jìn)入機(jī)臺(tái)的開始位置，所述前端部分一端連接標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械界面另一端連接緩存處，所述前端部分設(shè)有風(fēng)機(jī)過濾機(jī)組，所述風(fēng)機(jī)過濾機(jī)組包括風(fēng)扇，所述風(fēng)扇過濾前端部分的空氣，所述緩沖區(qū)連接所述緩存處，所述沉積腔體與緩沖區(qū)相連接，所述機(jī)械手臂用于傳輸標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械界面、緩存處和沉積腔體之間的晶片，所述風(fēng)機(jī)過濾機(jī)組還包括一個(gè)用于檢測(cè)風(fēng)扇工作狀態(tài)的檢測(cè)裝置。本發(fā)明在前端部分中的風(fēng)機(jī)過濾機(jī)組上增加一個(gè)用于檢測(cè)風(fēng)扇工作狀態(tài)的檢測(cè)裝置，避免因風(fēng)扇不工作后造成的晶片污染，降低低效產(chǎn)品。