本發(fā)明公開了一種Roll?to?Roll化學(xué)機(jī)械拋光裝置及方法，該裝置包括：拋光機(jī)構(gòu)，用于對待拋光的襯底材料進(jìn)行拋光；拋光包括：粗拋、半精拋和精拋；檢測機(jī)構(gòu)，與拋光機(jī)構(gòu)連接，用于采集完成拋光的襯底材料的表面圖像數(shù)據(jù)；上位機(jī)，分別與拋光機(jī)構(gòu)和檢測機(jī)構(gòu)連接，用于根據(jù)表面圖像數(shù)據(jù)通過神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)算法生成拋光評價結(jié)果，并將拋光評價結(jié)果傳輸給拋光機(jī)構(gòu)；拋光機(jī)構(gòu)還用于根據(jù)拋光評價結(jié)果調(diào)整拋光參數(shù)；拋光參數(shù)包括襯底材料進(jìn)料速度、拋光液流量、研拋輪轉(zhuǎn)速、拋光界面壓力、氣體壓力值和沖洗壓力值。本發(fā)明采用神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)算法對采集的參數(shù)進(jìn)行實(shí)時的評估，提升工件表面加工質(zhì)量以及化學(xué)機(jī)械拋光效率。