一種化學(xué)機(jī)械研磨工藝中氧化劑濃度的監(jiān)控系統(tǒng),包含一光譜儀與一中控器,其中光譜儀連接在研漿供應(yīng)槽與研磨機(jī)臺(tái)之間用來(lái)供應(yīng)研漿的管路上,此光譜儀用來(lái)檢測(cè)研漿中氧化劑的濃度;中控器與光譜儀、研漿供應(yīng)槽與研磨機(jī)臺(tái)連接,此中控器會(huì)根據(jù)光譜儀傳來(lái)的信號(hào)以得到研漿中氧化劑的濃度,并據(jù)以調(diào)整研漿供應(yīng)槽中研漿的組成與/或研磨機(jī)臺(tái)的研磨條件。