本發(fā)明涉及一種用于制備新材料的化學(xué)氣相沉積裝置，包括底座、導(dǎo)氣機(jī)構(gòu)、沉積管、夾持機(jī)構(gòu)、種棒、旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)和兩個(gè)加熱機(jī)構(gòu)，導(dǎo)氣機(jī)構(gòu)包括進(jìn)氣管、導(dǎo)氣室和導(dǎo)氣管，導(dǎo)氣室內(nèi)設(shè)有轉(zhuǎn)軸、轉(zhuǎn)盤、第一電機(jī)、驅(qū)動(dòng)塊、調(diào)節(jié)組件和兩個(gè)扇葉，加熱機(jī)構(gòu)包括滑板、移動(dòng)組件、氫氧焰噴燈、豎板、頂板、X射線發(fā)射器和X射線接收器，該用于制備新材料的化學(xué)氣相沉積裝置通過導(dǎo)氣機(jī)構(gòu)調(diào)節(jié)通入反應(yīng)氣體的用量，使裝置隨著運(yùn)行時(shí)間的增加減小通入氣體量，保證沉積反應(yīng)的同時(shí)降低了設(shè)備生產(chǎn)成本，不僅如此，通過加熱機(jī)構(gòu)在沉積管的下方移動(dòng)并進(jìn)行沉積狀況的檢測，根據(jù)薄膜的附著狀況控制滑板的移動(dòng)，使得薄膜均勻沉積在種棒表面，提高了新材料的生產(chǎn)質(zhì)量。