本發(fā)明公開了一種基于
石墨烯的化學或生物傳感器及其制作方法。該傳感器包括:至少一端面為電絕緣面的基底;設置在基底一端面上的,具有設定圖形結構的石墨烯層以及與石墨烯層配合的圖形源、漏電極;覆蓋基底一端面的除石墨烯層和源、漏電極之外的區(qū)域的鈍化層;設置于基底另一端面上的柵電極;以及連接在石墨烯層上的,用以檢測目標物質的識別物。其制作方法包括:在基底的電絕緣面上覆蓋石墨烯層,并利用半導體工藝在石墨烯層和基底上制作晶體管結構,最后在石墨烯層表面修飾作為識別物的化學或生物分子以檢測目標物質。本發(fā)明傳感器易于制備,便于操作,并且具有靈敏度高、穩(wěn)定性好,成本低等特點,適用于檢測化學分子或疾病相關因子或病毒等。
聲明:
“基于石墨烯的化學或生物傳感器及其制作方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
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