本發(fā)明公開了一種基于光學層析同時迭代重建的LIBS分析方法，將多元LIBS定量求解問題等效于高精度的光學層析重建問題，將關(guān)聯(lián)矩陣F的求解等效于光學層析中的重建三維物理量分布。采用高精度的SIRT迭代算法結(jié)合矩陣列向量分解，逐列迭代求解關(guān)聯(lián)矩陣F的各個列向量，從而得到關(guān)聯(lián)矩陣F。然后根據(jù)未知樣品的實測歸一化光譜強度向量與關(guān)聯(lián)矩陣的運算實現(xiàn)未知樣品中每個元素的高精度求解分析。本發(fā)明的有益效果是，在多變量分析標定中采用類光學層析模型并求解，以解決化學基質(zhì)效應中不同元素競爭發(fā)射的影響；采用SIRT層析迭代算法求解，有效抑制測量數(shù)據(jù)中的噪聲，并得到最小均方根誤差的關(guān)聯(lián)矩陣，從而提高LIBS定量分析精度。