本實用新型公開了一種顯微光譜分析成像系統(tǒng)，包括圖像數(shù)據(jù)處理器以及分別與所述圖像數(shù)據(jù)處理器連接的光學(xué)成像系統(tǒng)和光譜儀系統(tǒng)。本實用新型的有益效果：本實用新型的顯微光譜分析成像系統(tǒng)通過將光學(xué)顯微鏡和光譜儀完美的結(jié)合在一起，從而使得本系統(tǒng)同時集成了顯微鏡和光譜儀的功能，進而使得本系統(tǒng)既可觀測分析微納材料表面的形貌結(jié)構(gòu)，又可以同時檢測微納材料表面的光學(xué)性能特征，分析其化學(xué)成分。