本申請?zhí)峁┮环N測溫裝置及化學(xué)氣相沉積設(shè)備,涉及測溫技術(shù)領(lǐng)域。測溫裝置包括水平布置的多級結(jié)構(gòu)及測溫元件。多級結(jié)構(gòu)具有沿其軸向可拆卸連接的多級套筒,多級結(jié)構(gòu)沿其軸向具有相對的第一端以及第二端,第一端為封閉端,任意相鄰的兩級套筒中,靠近第一端的套筒的內(nèi)徑小于靠近第二端的套筒的內(nèi)徑,靠近第一端的套筒的長度小于靠近第二端的套筒的長度;多級結(jié)構(gòu)的軸向長度≥800mm,位于第一端的套筒的壁厚<3mm,測溫元件可拆卸安裝于多級結(jié)構(gòu)內(nèi),測溫元件用于測量第一端的端部的溫度。上述多級結(jié)構(gòu)可提高測溫裝置的抗自重能力,從而當(dāng)測溫裝置應(yīng)用于化學(xué)氣相沉積設(shè)備中進(jìn)行測溫時(shí),可減緩第一端在重力方向的偏移程度,提高測溫的精準(zhǔn)度。
聲明:
“測溫裝置及化學(xué)氣相沉積設(shè)備” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)