本實(shí)用新型涉及一種化學(xué)機(jī)械研磨裝置的調(diào)節(jié)器，其作為在化學(xué)機(jī)械研磨工藝中，對(duì)與晶元板面接觸的研磨墊表面進(jìn)行改質(zhì)的化學(xué)機(jī)械研磨裝置的調(diào)節(jié)器，其包括：臂，其從旋轉(zhuǎn)中心延伸并進(jìn)行往返旋回運(yùn)動(dòng)；調(diào)節(jié)單元，其與在所述臂的末端旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)軸連動(dòng)并進(jìn)行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)，在底面把持調(diào)節(jié)盤(pán)并對(duì)所述研磨墊加壓的同時(shí)對(duì)所述研磨墊表面進(jìn)行微細(xì)切削；位移傳感器，其測(cè)量所述調(diào)節(jié)盤(pán)的上下移動(dòng)位移量；控制部，其從所述位移傳感器感知根據(jù)所述調(diào)節(jié)盤(pán)的往返旋回運(yùn)動(dòng)路徑的所述調(diào)節(jié)盤(pán)的高度變動(dòng)量，并測(cè)量為所述研磨墊的高度偏差。因此，本實(shí)用新型能夠更快更準(zhǔn)確地計(jì)算出，為了緩和研磨墊表面高度偏差向調(diào)節(jié)盤(pán)施加的加壓力，更加提高了緩和研磨墊高度偏差的平坦化效率。