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在線檢測半導體級化學品中有機分子雜質的自動化系統(tǒng)

803   編輯:管理員   來源:中冶有色技術網(wǎng)  
2023-03-19 06:45:15
分析系統(tǒng)的實施例可包括初始多端口閥、至少一個中間多端口閥、另外的多端口閥、以及飛行時間質譜儀(TOF?MS)。初始多端口閥可被配置為接收樣品。至少一個中間多端口閥可與初始多端口閥流體連接,并被配置為從初始多端口閥接收樣品。給定的中間多端口閥可具有與其相關聯(lián)的離子交換柱。給定的中間多端口閥可被選擇性地配置為以下之一,即引導樣品通過與其相關聯(lián)的離子交換柱(以物種形成模式)或繞過所述離子交換柱(以注入模式)。另外的多端口閥可與至少一個中間多端口閥流體連接并被配置為從其接收樣品。飛行時間質譜儀(TOF?MS)可與所述另外的多端口閥流體連接。
聲明:
“在線檢測半導體級化學品中有機分子雜質的自動化系統(tǒng)” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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