本發(fā)明提供了一種在不影響拋光工藝過(guò)程的前提下高精度地實(shí)時(shí)檢測(cè)拋光界面溫度的裝置，還提供了利用檢測(cè)到的溫度信號(hào)進(jìn)行拋光終點(diǎn)判斷和拋光過(guò)程監(jiān)控的方法。該溫度檢測(cè)裝置由溫度傳感器、信號(hào)處理模塊、導(dǎo)電滑環(huán)、信號(hào)接收裝置、電源及連接各組件間的導(dǎo)線(xiàn)組成。其中，溫度傳感器的感溫區(qū)域直接與被拋光工件的背面接觸，傳感器輸出的弱信號(hào)經(jīng)過(guò)信號(hào)處理模塊處理后由導(dǎo)電滑環(huán)將其傳輸?shù)叫盘?hào)接收裝置，再由信號(hào)接收裝置對(duì)信號(hào)進(jìn)行采集、處理和顯示等操作。當(dāng)從被拋光工件的一層材料層上去除另外一種材料層時(shí)，可以根據(jù)拋光界面溫度的變化情況判斷拋光終點(diǎn)。將拋光界面溫度和同一工藝參數(shù)下拋光界面的正常溫度范圍對(duì)比，可以判斷加工過(guò)程是否正常。