本文公開的是用于制造生物感測裝置的過程，所述過程包括下列步驟：提供基底，其具有在其表面上的導(dǎo)電引線；將絕緣層施加到所述表面和所述引線，所述絕緣層包括二氧化硅或氮化硅中的一個(gè)或多個(gè)；在所述絕緣層中蝕刻孔以暴露所述引線的一部分，納米結(jié)構(gòu)微電極被電鍍到所述引線的一部分上；氧化二氧化硅或氮化硅中的一個(gè)或多個(gè)以形成氧化的二氧化硅或氮化硅；允許氧化的二氧化硅或氮化硅中的一個(gè)或多個(gè)與功能化硅烷起反應(yīng)，用于在樣本上的目標(biāo)的電化學(xué)檢測中的使用。