本發(fā)明公開(kāi)了基于光譜的化學(xué)機(jī)械平坦化在線終點(diǎn)檢測(cè)方法。首先根據(jù)被拋薄膜和基底材料的折射率n、消光系數(shù)k和目標(biāo)膜厚d計(jì)算出理論光譜曲線，然后選取該曲線的一段波長(zhǎng)區(qū)域，計(jì)算該區(qū)域內(nèi)所有相對(duì)反射率極大值點(diǎn)對(duì)應(yīng)的波長(zhǎng)值λhi和極大值點(diǎn)對(duì)應(yīng)的波長(zhǎng)個(gè)數(shù)a、相對(duì)反射率極小值點(diǎn)對(duì)應(yīng)的波長(zhǎng)值λlk和極小值點(diǎn)對(duì)應(yīng)的波長(zhǎng)個(gè)數(shù)b。實(shí)時(shí)采集拋光過(guò)程中的原始光譜數(shù)據(jù)，得到濾波光譜曲線，選取相同波長(zhǎng)區(qū)域的濾波光譜曲線區(qū)域的對(duì)應(yīng)參數(shù)，并計(jì)算兩組數(shù)據(jù)之間的差異值。如果該值小于預(yù)先設(shè)定的閾值，則停止平坦化過(guò)程。本發(fā)明可以排除檢測(cè)光強(qiáng)信號(hào)變化帶來(lái)的干擾，不用對(duì)檢測(cè)光譜做歸一化處理，減少了運(yùn)算時(shí)間，同時(shí)提升信號(hào)的檢測(cè)精度和檢測(cè)一致性。