本發(fā)明公開了一種用于化學(xué)機(jī)械拋光工藝終點(diǎn)檢測(cè)的離線調(diào)試系統(tǒng)及方法，該系統(tǒng)包括：數(shù)據(jù)讀取模塊，用于讀取預(yù)先存儲(chǔ)的電機(jī)功率數(shù)據(jù)，其中，電機(jī)功率數(shù)據(jù)為化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備拋光晶圓過程中拋光盤電機(jī)驅(qū)動(dòng)器的電機(jī)功率信號(hào)；調(diào)試模塊，用于根據(jù)電機(jī)功率數(shù)據(jù)確定終點(diǎn)捕捉窗口的參數(shù)值。該實(shí)施例的系統(tǒng)及方法可使工藝人員線下模擬終點(diǎn)檢測(cè)過程，并有效調(diào)節(jié)運(yùn)動(dòng)窗口參數(shù)，進(jìn)而在方便參數(shù)調(diào)試的同時(shí)，降低生產(chǎn)成本并提高生產(chǎn)效率。