本發(fā)明公開了一種動態(tài)檢測裝置，包括：發(fā)射單元；反饋單元，用于接收發(fā)射單元發(fā)出的光束；發(fā)射單元和反饋單元分別設于晶圓傳輸手或晶圓清洗模組；發(fā)射單元和反饋單元分別位于晶圓的兩側，當晶圓傳輸手上夾持有晶圓時，該晶圓可阻擋光束；發(fā)射單元或反饋單元隨著晶圓傳輸手移動，可與晶圓清洗模組的任一反饋單元或發(fā)射單元配合，用于檢測兩者之間的光路內是否有晶圓，以判斷晶圓傳輸手上是否夾持有晶圓。本發(fā)明還公開了一種化學機械平坦化設備。本發(fā)明可以實時檢測每個或任意一個晶圓傳輸手上是否夾持有晶圓；晶圓傳輸手的移動通道不會被阻隔，移動更加靈活；實現(xiàn)了動態(tài)檢測，可選擇性地與任意晶圓清洗模組配合進行檢測。