一種基于振動(dòng)模式的電化學(xué)檢測(cè)裝置控制系統(tǒng)及檢測(cè)方法，涉及一種電化學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)及檢測(cè)方法。檢測(cè)裝置固定在Z向位移臺(tái)上，X?Y二維氣浮平臺(tái)上固定三維壓電位移臺(tái)，信號(hào)發(fā)生器控制激振壓電陶瓷環(huán)的振動(dòng)，電容式位移傳感器測(cè)得激振壓電陶瓷環(huán)的位移變化經(jīng)電荷放大器處理后傳遞給鎖相放大器，PID控制器將鎖相放大器提取的電壓幅值信號(hào)運(yùn)算處理后對(duì)壓電促動(dòng)器進(jìn)行控制，壓電促動(dòng)器、X?Y二維氣浮平臺(tái)和三維壓電位移臺(tái)為上位機(jī)提供實(shí)時(shí)信號(hào)，上位機(jī)通過(guò)UMAC控制器控制Z向位移臺(tái)、X?Y二維氣浮平臺(tái)和三維壓電位移臺(tái)。探針以振動(dòng)模式接近被測(cè)樣品表面，減小相互作用力不易損壞，Z向閉環(huán)反饋功能保證距離恒定，檢測(cè)更加準(zhǔn)確。