化學(xué)機械拋光中凹陷現(xiàn)象檢測單元、制作方法及檢測方法,所述制作方法包括如下步驟:在經(jīng)化學(xué)機械拋光后的圖形襯底表面生長檢測層;在檢測層表面生長覆蓋層;對覆蓋層表面進行化學(xué)機械拋光處理,至除去圖形襯底表面的圖形邊緣處對應(yīng)的覆蓋層;采用選擇性刻蝕的方法,在圖形襯底表面形成檢測單元。本發(fā)明還提供了一種化學(xué)機械拋光中凹陷現(xiàn)象的檢測方法。本發(fā)明提供的制作方法和檢測方法,既適用于檢測導(dǎo)電材料構(gòu)成的圖形襯底,又適用于檢測絕緣材料構(gòu)成的圖形襯底,具有普適性。