本發(fā)明屬于傳感器技術(shù)領(lǐng)域,具體為一種用于電化學(xué)檢測的微電極陣列芯片傳感器。本發(fā)明使用硅基材料進(jìn)行制造,芯片集成了電化學(xué)檢測的工作電極、輔助電極和參比電極,具有很好的信噪比。輔助電極和工作電極構(gòu)成環(huán)盤結(jié)構(gòu),輔助電極與工作電極間的距離小,提高了電極的靈敏度。多個工作電極成陣列分布,可以用于多通道檢測。本發(fā)明可以廣泛用于生物醫(yī)藥等多領(lǐng)域的檢測。本發(fā)明采用MEMS工藝進(jìn)行制造,工藝簡單,成本低。