本實(shí)用新型公開(kāi)一種四探針檢測(cè)裝置，包括：工作臺(tái)；測(cè)試機(jī)架，測(cè)試機(jī)架設(shè)置在工作臺(tái)上；伸縮液壓缸，伸縮液壓缸安裝在測(cè)試機(jī)架上；輔助架，輔助架安裝在伸縮液壓缸的輸出端，且輔助架上安裝有測(cè)試頭；測(cè)試盤(pán)，測(cè)試盤(pán)設(shè)置在測(cè)試機(jī)架的底座上，本實(shí)用新型解決了硅片的電學(xué)性能檢測(cè)不方便的技術(shù)問(wèn)題。