2涂層的制備方法,物理檢測(cè)"> 2涂層的制備方法,本發(fā)明公開了一種CrB2涂層的制備方法。采用直流磁控濺射法,設(shè)計(jì)靶源磁場(chǎng)由位于靶面底部的環(huán)形磁鐵與直線型磁鐵組成,通過對(duì)靶源磁場(chǎng)的設(shè)計(jì),使靶面不同位置具有不同的磁場(chǎng)強(qiáng)度,并對(duì)應(yīng)的放置一系列樣品,在各樣品表面沉積CrB2涂層,然后對(duì)各涂層進(jìn)行性能檢測(cè),得到與所需CrB2涂層性能最接近的CrB2樣品涂層,該樣品在樣品架上的放置位置即為待沉積基體的放置位置,從而實(shí)現(xiàn)所需性能涂層的制備。">

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一種CrB2涂層的制備方法

737   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 06:25:56
本發(fā)明公開了一種CrB2涂層的制備方法。采用直流磁控濺射法,設(shè)計(jì)靶源磁場(chǎng)由位于靶面底部的環(huán)形磁鐵與直線型磁鐵組成,通過對(duì)靶源磁場(chǎng)的設(shè)計(jì),使靶面不同位置具有不同的磁場(chǎng)強(qiáng)度,并對(duì)應(yīng)的放置一系列樣品,在各樣品表面沉積CrB2涂層,然后對(duì)各涂層進(jìn)行性能檢測(cè),得到與所需CrB2涂層性能最接近的CrB2樣品涂層,該樣品在樣品架上的放置位置即為待沉積基體的放置位置,從而實(shí)現(xiàn)所需性能涂層的制備。
聲明:
“一種CrB2涂層的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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