本發(fā)明適用于機(jī)床測(cè)試領(lǐng)域,提供了一種機(jī)床精度分析方法、虛擬檢測(cè)系統(tǒng)及設(shè)備,所述方法包括下述步驟:根據(jù)機(jī)床的結(jié)構(gòu)構(gòu)建物理檢測(cè)系統(tǒng),并由物理檢測(cè)系統(tǒng)檢測(cè)得出溫度場(chǎng)、機(jī)床精度測(cè)試結(jié)果;根據(jù)所述物理檢測(cè)系統(tǒng)的參數(shù)及其得出的溫度場(chǎng)測(cè)試結(jié)果構(gòu)建虛擬檢測(cè)系統(tǒng),并根據(jù)所述物理檢測(cè)系統(tǒng)得出的機(jī)床精度測(cè)試結(jié)果校準(zhǔn)所述虛擬檢測(cè)系統(tǒng)。在本發(fā)明中,根據(jù)機(jī)床的結(jié)構(gòu)構(gòu)建物理檢測(cè)系統(tǒng),通過(guò)物理檢測(cè)系統(tǒng)的檢測(cè)結(jié)果構(gòu)建、校準(zhǔn)虛擬檢測(cè)系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)了一種機(jī)床精度分析方法,提高機(jī)床的精度、加工質(zhì)量和效率,降低新產(chǎn)品的設(shè)計(jì)周期、節(jié)約設(shè)計(jì)研發(fā)成本。