本發(fā)明涉及一種真空氣浮軸承、及其性能檢測(cè)裝置和檢測(cè)方法，該氣浮軸承包括至少一級(jí)抽氣通道，采用本發(fā)明的多級(jí)抽氣結(jié)構(gòu)的真空氣浮軸承，可以把提供給平面氣浮軸承的氣體抽排出真空腔體，將平面氣浮軸承對(duì)真空度的影響減小到可接受的范圍。該檢測(cè)裝置包括真空室；分別與真空室連接的多級(jí)抽氣管路、抽真空管路、進(jìn)氣管路、氮?dú)夤苈?，真空室還連接一真空室真空計(jì)，該性能檢測(cè)裝置能夠準(zhǔn)確的評(píng)估該真空氣浮軸承是否符合實(shí)際真空環(huán)境的使用需求，還可判斷該真空氣浮軸承工作時(shí)對(duì)真空環(huán)境的影響，此外還可以通過(guò)測(cè)試過(guò)程和測(cè)試結(jié)果指導(dǎo)真空氣浮軸承的抽氣系統(tǒng)的設(shè)計(jì)。