本申請公開了半導(dǎo)體器件的性能檢測方法和檢測模型的建立方法，半導(dǎo)體器件的性能檢測方法包括步驟：將待測半導(dǎo)體器件的溝道尺寸輸入到檢測模型中；所述檢測模型根據(jù)所述待測半導(dǎo)體器件的溝道尺寸，將所述待測半導(dǎo)體器件對應(yīng)到由多個(gè)點(diǎn)模型構(gòu)成的塊模型區(qū)中；所述檢測模型將所述塊模型區(qū)中多個(gè)點(diǎn)模型的溝道尺寸和器件特性輸入到差值公式中，形成聯(lián)立方程式，并通過所述聯(lián)立方程式得出所述待測半導(dǎo)體器件的關(guān)系參數(shù)；所述檢測模型將所述待測半導(dǎo)體器件的關(guān)系參數(shù)和溝道尺寸代入到差值公式中，得到所述待測半導(dǎo)體器件的器件特性，并輸出所述器件特性作為檢測結(jié)果。通過上述檢測方法可以準(zhǔn)確地檢測出半導(dǎo)體器件的器件特性，且節(jié)省了時(shí)間和成本。