本發(fā)明涉及一種用于制備石墨烯的智能型基片濕法腐蝕處理裝置，包括底座、供液機(jī)構(gòu)、清洗盒、密封板、夾持機(jī)構(gòu)、噴頭、移動(dòng)機(jī)構(gòu)、控制器和排氣機(jī)構(gòu)，移動(dòng)機(jī)構(gòu)包括第一電機(jī)、緩沖塊、第一驅(qū)動(dòng)軸、滑塊、固定桿和擺動(dòng)組件，排氣機(jī)構(gòu)包括入氣管、處理盒、加料管、加料盒和排氣管，加料盒內(nèi)設(shè)有加料組件，供液機(jī)構(gòu)包括支柱、供液盒、第一水管、第二水管、第三水管和水泵，該用于制備石墨烯的智能型基片濕法腐蝕處理裝置通過(guò)移動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)噴頭移動(dòng)對(duì)基片的各處進(jìn)行沖刷清洗，去除基片表面的雜質(zhì)，使氣相反應(yīng)沉積時(shí)石墨烯均勻分布在基片表面，不僅如此，通過(guò)排氣機(jī)構(gòu)吸收清洗產(chǎn)生的二氧化氮，防止廢氣危害操作人員，進(jìn)一步提高了設(shè)備的實(shí)用性。