本發(fā)明涉及一種利用焚燒法處理可燃無機氧化物的廢氣的裝置,特別是一種硅烷燃燒塔,具有塔體和水箱,塔體內(nèi)設置有燃燒筒、填料室、噴淋室和脫液室,燃燒筒下部設置在水箱中,燃燒筒外罩有鎮(zhèn)流罩,鎮(zhèn)流罩與燃燒筒間的空腔中裝有噴淋裝置,燃燒筒底部為燃燒室,中部為均壓室,頂部為氮氣保護室,燃燒室底部有通向塔體外的排渣口,燃燒室的筒體上有廢氣進氣口和壓縮空氣進氣口,廢氣進氣口裝有單向閥,在填料室上部和噴淋室處的塔體上開有檢修口。本發(fā)明解決了現(xiàn)有的處理硅烷廢氣的設備運行成本較高;當可燃性氣體出現(xiàn)熄滅、斷氣等故障時,硅烷廢氣容易出現(xiàn)爆炸危險;生產(chǎn)設備必須停機才能對廢氣處理設備進行檢修等技術問題。