本發(fā)明涉及一種羥基氟硅油的制備方法，包括以下步驟：步驟1、水解縮合：在攪拌狀態(tài)下，向氨水中滴加三氟丙基甲基二氯硅烷，調(diào)節(jié)滴加速度使反應(yīng)體系的溫度控制在0~50℃，當(dāng)反應(yīng)體系的PH值小于8后，停止滴加，繼續(xù)反應(yīng)1~5小時(shí)；步驟2、分離水洗：在攪拌狀態(tài)下，向步驟1得到的液體中加入水直至完全溶解氯化銨，然后靜置分層，將水層與油層相分離，水層洗至中性；步驟3、提純：將步驟2得到的油層脫除水分，得到羥基氟硅油；將步驟2得到的水層用鹽酸中和，離心得到固體氯化銨。本發(fā)明工藝簡(jiǎn)單、分子量分布窄、成本低、廢水少。