本發(fā)明提供了一種提高三氯氫硅選擇性的方法，步驟如下：(1)取工廠廢硅粉，把廢硅粉放入塑料燒杯中，倒入氫氟酸并進行攪拌，然后進行抽濾、洗滌，最后把濾餅放進真空烘箱中進行烘干；(2)稱取步驟1中氫氟酸處理過的廢硅粉，裝入固定床反應(yīng)器中，然后把固定床反應(yīng)器放進管式爐中，通惰性氣體進行加熱；(3)固定床反應(yīng)器內(nèi)溫度達到280℃時，通HCl氣體開始反應(yīng)，生成物即主產(chǎn)物三氯氫硅和副產(chǎn)物四氯化硅。本發(fā)明的優(yōu)點在于：反應(yīng)物之一為工業(yè)固體廢棄物?廢硅粉，大大節(jié)約了成本，實現(xiàn)固廢資源化。氫氟酸處理大大提高了產(chǎn)物三氯氫硅的選擇性。