本發(fā)明提供碳化硅和聚乙二醇切割液的回收方法，將硅片切割廢砂漿與水混合后進(jìn)行第一級固液分離，將第一級固體顆粒經(jīng)水稀釋后進(jìn)行第二級固液分離，將第二級懸浮液回用于上述混合，將第二級固體顆粒經(jīng)第一級水洗后進(jìn)行第三級離心分離，將第三級離心液回用于上述稀釋，將第三級離心固體顆粒經(jīng)第二級水洗后進(jìn)行第四級離心分離，將第四級離心液回用于第一級水洗，將第四級離心固體顆粒經(jīng)干燥、篩選后得到碳化硅；將第一級懸浮液進(jìn)行過濾、脫色和樹脂交換后，依次進(jìn)行減壓蒸餾和薄膜蒸發(fā)，得到聚乙二醇切割液、減壓蒸餾水和薄膜蒸發(fā)水，所述減壓蒸餾水用于第二級水洗，所述薄膜蒸發(fā)水用于第一級水洗。該回收方法顯著降低污水的污染程度，利于環(huán)保。