本實用新型公開了一種去除超高純正硅酸乙酯鋼瓶中固體顆粒的裝置。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型采用雙回路過濾，可同時處理兩個鋼瓶，提高了鋼瓶的處理效率，以反復(fù)過濾取代大量高純水清洗，不產(chǎn)生廢液，也無需再對鋼瓶進行除水處理，減少了鋼瓶的處理時間且用量少，裝置結(jié)構(gòu)設(shè)計合理，操作簡單，可以嚴(yán)格控制金屬雜質(zhì)含量在可接受范圍之內(nèi)，同時還可進一步設(shè)置有尾氣吸附柱，解決了尾氣排放環(huán)境污染的問題。