本發(fā)明提供通過使用具有多個組分的氣態(tài)原料的反應來制造固體產物的方法的制造方法和制造設備,其中所制造的固體產物未被含由反應產生的副產物氣體和未反應的氣態(tài)原料的廢氣污染,可達成較高純度,且可從反應器中連續(xù)取出制造的固體產物。本發(fā)明提供的制造方法和制造設備,所述方法包含使用安置在垂直方向上的反應器進行反應的步驟;從反應器的上部饋送具有多個組分的氣態(tài)原料的步驟;在反應器的下部中形成由具有高密度的氣體組成且從反應器的下部連續(xù)饋送的氣體層的步驟;從所形成的密封氣體層的上部中的某處排出含有由反應所產生的副產物氣體和未反應的氣態(tài)原料的廢氣的步驟;以及將固體產物接收在下部的密封氣體層中的步驟。