本實(shí)用新型涉及一種多級(jí)臭氧催化氧化裝置，其包括柱形反應(yīng)器，分別與所述柱形反應(yīng)器連接的廢水進(jìn)水裝置、空氣進(jìn)氣裝置，臭氧進(jìn)氣裝置，廢水出水裝置和尾氣處理裝置；所述柱形反應(yīng)器內(nèi)部包括平均分布的篩板和設(shè)置在下部的鈦合金微孔曝氣盤；所述尾氣處理裝置設(shè)置在柱形反應(yīng)器的頂部；所述廢水出水裝置設(shè)置在柱形反應(yīng)器上部，位于篩板上方；所述廢水進(jìn)水裝置設(shè)置在柱形反應(yīng)器下部，位于篩板和鈦合金微孔曝氣盤之間；所述空氣進(jìn)氣裝置位于鈦合金微孔曝氣盤下方，臭氧進(jìn)氣裝置與鈦合金微孔曝氣盤連接；所述柱形反應(yīng)器底部設(shè)置放空管。本實(shí)用新型提高了臭氧利用率和臭氧催化氧化效果。