本發(fā)明涉及一種四甲基氫氧化銨顯影廢液再生系統(tǒng)和再生方法。所述系統(tǒng)包括若干送料泵、中和分離裝置、吸附裝置、陽(yáng)離子交換裝置、陰離子交換裝置和凈化處理裝置，所述中和分離裝置、吸附裝置、陽(yáng)離子交換裝置、陰離子交換裝置和凈化處理裝置各至少設(shè)有一組，所述中和分離裝置、吸附裝置、陽(yáng)離子交換裝置、陰離子交換裝置和凈化處理依次通過(guò)帶控制閥的料管連接，通過(guò)該系統(tǒng)能夠長(zhǎng)期穩(wěn)定的循環(huán)再生高純度的四甲基氫氧化銨顯影液，達(dá)到節(jié)能環(huán)保的目的，同時(shí)降低半導(dǎo)體工廠廢水排放的壓力，為工廠節(jié)約廢水處理的成本，從而達(dá)到資源有效循環(huán)利用的目的。