本發(fā)明 提供了一種處理后的 水可用作超純水生產(chǎn) 裝置原水，而無需添加 各種化學(xué)物質(zhì)的水處 理裝置。該裝置包括一 個接收堿水或酸水的 第一水池，一個對來自 第一水池的廢水進行 固-液分離的第二水池，一個裝有離子交換樹脂和曝氣管的離 子交換塔，一個沉淀離子交換樹脂的沉淀池，一個將離子交換樹 脂從沉淀池輸送的第一水池的空氣提升泵，一個將離子交換樹 脂從第二水池返回到離子交換塔到返回空氣提升泵。離子交換 樹脂與處理水中的氟離子在離子交換塔中進行離子交換，并在 第一水池中用酸性廢水對其進行再生。