本發(fā)明提供一種含高濃度微粒及難分解有機物質(zhì)之廢水的處理方法，例如一種制備硅晶片時所產(chǎn)生的廢水的處理方法，包含從該廢水中分離出其中所含的微粒，而得到的一實質(zhì)上不含微粒的水；以厭氧微生物分解方式處理該實質(zhì)上不含微粒的水，使得其中所含的有機物被部份分解，而得到一第一部份凈化水；及以好氧微生物分解方式處理該第一部份凈化水，使得殘留于其中的有機物被進一步分解，而得到一第二部份凈化水，其中該好氧微生物分解方式的COD去除率比在相同條件下但未使用厭氧微生物分解方式者提高20～85％。