本實(shí)用新型涉及廢水處理技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種半導(dǎo)體生產(chǎn)中廢水處理裝置，包括廢水收集池,廢水池通過第一水泵連接H2O2處理池，H2O2處理池內(nèi)設(shè)有MnO2，H2O2處理池通過第二水泵連接硝化槽，硝化槽中有硝化細(xì)菌，硝化槽內(nèi)設(shè)有PH濃度檢測儀，硝化槽上還設(shè)有NaOH溶液進(jìn)液管，進(jìn)液管上設(shè)有電磁閥，所述硝化槽通過第三水泵連接再曝氣槽，再曝氣槽內(nèi)設(shè)有好氧微生物。本實(shí)用新型對于H2O2含量高的廢水先通過MnO2來降低H2O2含量，使得COD值降低，然后通過硝化細(xì)菌來除碳與脫氮，再通過好氧微生物進(jìn)行，這樣使得廢水出水COD值達(dá)標(biāo)。