本發(fā)明公開一種含超細(xì)硅粉廢水的處理方法及裝置，屬于多晶硅產(chǎn)業(yè)含硅粉廢水的處理領(lǐng)域；本發(fā)明所述方法以20~32%NaOH溶液作為沉淀劑，加入含超細(xì)硅粉廢水中，使廢水中超細(xì)硅粉發(fā)生絮凝，在一個(gè)小時(shí)左右自然沉淀。本發(fā)明用高濃度的NaOH溶液作為沉淀劑，解決由于硅芯等切割過程產(chǎn)生的廢水中硅粉顆粒太小，表面活性高，與水發(fā)生氫化，長時(shí)間（超過半年）懸浮于水中不沉淀、過濾困難的問題，可大大減輕現(xiàn)有的壓濾過程的負(fù)荷，提高過濾效率，上清液堿性水和濾液堿性水用于氯硅烷廢氣淋洗工序的吸收劑實(shí)現(xiàn)資源化利用，同時(shí)，減輕后續(xù)廢水處理系統(tǒng)的處理壓力。本發(fā)明處理含超細(xì)硅粉廢水工藝簡單，絮凝沉淀時(shí)間短，處理效果好，成本低。