本發(fā)明屬于生活污水處理領(lǐng)域，尤其涉及一種臭氧氧化廢水深度處理裝置，包括預(yù)處理設(shè)備、增壓泵、液體流量計、廢水儲蓄罐一、臭氧發(fā)生器、氣體流量計、氣液混合器、催化反應(yīng)塔和廢水儲蓄罐二，預(yù)處理設(shè)備、增壓泵、廢水儲蓄罐一和液體流量計依次連接，臭氧發(fā)生器和氣體流量計連接，氣液混合器設(shè)置有液體入口、氣體入口和混合液出口，液體流量計與氣液混合器的液體入口連接，氣體流量計與氣液混合器的液體入口連接，氣液混合器的混合液出口與催化反應(yīng)塔連接，催化反應(yīng)塔連接、光催化反應(yīng)器和廢水儲蓄罐二依次連接。本發(fā)明的有益效果：工藝流程簡單，操作簡單，有效提高廢水利用率，節(jié)能省水，實現(xiàn)清潔生產(chǎn)，廢水循環(huán)回用，充分降低成本。