本實用新型涉及一種蝕刻廢水回收處理用三效蒸發(fā)器，包括三個蒸發(fā)罐、抽氣泵、冷凝器，蒸發(fā)罐中安裝有過濾機構(gòu)；第一蒸發(fā)罐的蒸汽出口與第二蒸發(fā)罐的蒸汽入口連通，第二蒸發(fā)罐的蒸汽出口與第三蒸發(fā)罐的蒸汽入口連通，第三蒸發(fā)罐的蒸汽出口與抽氣泵的入口連通；第三蒸發(fā)罐的物料出口與第二蒸發(fā)罐的物料入口、第二蒸發(fā)罐的物料出口與第一蒸發(fā)罐的物料入口分別通過導(dǎo)流管連通，導(dǎo)流管外設(shè)有夾套，三個蒸發(fā)罐的排氣口通過管道與夾套的入氣口連通，夾套的出氣口通過管道與抽氣泵的入口連通，抽氣泵的出口與冷凝器的入口連通。有益效果是：避免顆粒物附著在列管換熱器上，避免降低列管換熱器的熱量交換；以減少蝕刻廢水的熱量損失。