本發(fā)明涉及一種體聲波器件及其制作方法,其中體聲波器件的制作方法包括:提供基底,基底具有發(fā)射器件區(qū)與接收器件區(qū);于基底上形成第一功能層,第一功能層至少覆蓋發(fā)射器件區(qū)與接收器件區(qū);于第一功能層上形成刻蝕停止層;于刻蝕停止層上形成第二
功能材料層;基于刻蝕停止層,去除對(duì)應(yīng)接收器件區(qū)的第二功能材料層,剩余的第二功能材料層構(gòu)成第二功能層,第二功能層與第一功能層共同形成功能結(jié)構(gòu)層,體聲波器件的壓電層或者底電極層或者頂電極層包括該功能結(jié)構(gòu)層。本申請(qǐng)可以有效降低體聲波器件的制作成本。
聲明:
“體聲波器件及其制作方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)