本實(shí)用新型涉及一種鈣鈦礦太陽能電池生產(chǎn)的實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)設(shè)備，包括光探測(cè)器、分光光度計(jì)以及檢測(cè)分析系統(tǒng)，光探測(cè)器探測(cè)到的光線信號(hào)通過分光光度計(jì)分析后傳輸至檢測(cè)分析系統(tǒng)，在真空密封艙內(nèi)設(shè)置有加熱鈣鈦礦太陽能電池基片的加熱裝置，在真空密封艙的下部設(shè)置光源，光源的光線通過下透光孔垂直射入真空密封艙內(nèi)并透過鈣鈦礦太陽能電池基片及加熱裝置的透光孔后再通過真空密封艙的上透光孔從真空密封艙內(nèi)出來，光探測(cè)器對(duì)準(zhǔn)上透光孔監(jiān)測(cè)透過上透光孔的光線。本實(shí)用新型通過監(jiān)測(cè)鈣鈦礦薄膜的生產(chǎn)過程中的性能參數(shù)，控制其反應(yīng)進(jìn)程，提高各批次鈣鈦礦薄膜生產(chǎn)的重復(fù)性。