本發(fā)明涉及一種垂直型光電探測器的制備方法,包括:S1:選取襯底;S2:在所述襯底上生長底電極層;S3:在所述底電極層上生長二硫化鉬層;S4:在所述二硫化鉬層上生長雜化
鈣鈦礦層;S5:在所述雜化鈣鈦礦層上生長頂電極。本發(fā)明可以使光電探測器二維材料溝道的背景載流子的完全耗盡,顯著降低了器件暗電流,提高器件在弱光下的探測性能;制備工藝簡單,生產(chǎn)成本低,無需昂貴的儀器設備等優(yōu)點;制備的光電探測器可在零柵壓、低源漏偏壓下工作,具有優(yōu)異的低功耗特性,且結構簡單、效率高、響應快、工作穩(wěn)定、使用壽命長。
聲明:
“垂直型光電探測器及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)