本發(fā)明屬于有色金屬加工技術領域，具體涉及一種刻蝕法制備的硅基合金材料，并進一步公開其制備方法，以及其制備鋰離子電池負極材料的用途。本發(fā)明所述硅基合金材料，以金屬摻雜的硅鋁多元合金材料為制備原料，采用刻蝕的方式進行制備，該方法基于硅、鋁與其他金屬比較容易互溶或形成金屬間化合物，在較低的溫度下熔煉或粉末冶金等方法形成SiAlX三元或多元合金；并以此通過酸或堿進行刻蝕鋁硅合金，以去除鋁硅多元合金中全部或部分鋁，得到硅基合金材料。本發(fā)明所得到的硅基合金材料具有高容量、長壽命、高導電性特點，可直接作為電池的負極材料，也可進一步與碳或其他材料復合作為鋰離子電池負極材料，同時也可應用于電子、半導體等領域。