本發(fā)明一種化學(xué)冶金提純多晶硅的方法屬于用化學(xué)冶金提純多晶硅的技術(shù)領(lǐng)域,特別涉及一種利用酸、堿等化學(xué)手段提純硅到99.99%純度的多晶硅的方法。利用掃描電鏡觀察、記錄工業(yè)硅晶粒的大小,再將硅晶粒破碎到合適的程度,并用氫氧化鈉溶液去除硅粉的氧化層及雜質(zhì)鋁,用濃度氫氟酸進(jìn)行酸洗,去除金屬復(fù)雜相;用水清洗直到溶液呈中性,得到高純度的硅材料。這種提純多晶硅的方法成本低、能耗小、操作簡單、可行性高。