權(quán)利要求書： 1.一種從四氟化碳生產(chǎn)工業(yè)廢氣中回收提純電子級(jí)六氟乙烷的生產(chǎn)方法，其特征在于包括以下步驟： 步驟1：包括用于回收四氟化碳廢氣中六氟乙烷的熱分解提純裝置（100），并通過(guò)設(shè)置在管路上流量計(jì)控制原料流量，通過(guò)所述熱分解提純裝置（100）去除可熱分解的微氧，使其轉(zhuǎn)化為可以吸附、精餾去除的化合物； 步驟2：將步驟1中經(jīng)過(guò)所述熱分解提純裝置（100）后含有微氧和六氟乙烷的四氟化碳通過(guò)管道輸送至微氧吸附再生裝置（200）；所述微氧吸附再生裝置（200）在通入氫氣活化合格后，所述微氧吸附再生裝置（200）在脫氧劑的作用下能夠自行分解去除四氟化碳中微量氧化性物質(zhì)；并將微氧轉(zhuǎn)換成容易吸附、精餾去除的氫氣、二氧化碳、一氧化碳、鹵代烴；再經(jīng)過(guò)精密過(guò)濾器去除含有六氟乙烷的四氟化碳的固體雜質(zhì)； 步驟3：將步驟2中所述微氧吸附再生裝置（200）經(jīng)過(guò)精密過(guò)濾后，進(jìn)入分餾裝置（300），所述分餾裝置（300）排出的四氟化碳?xì)怏w返回四氟化碳生產(chǎn)線中，以提高四氟化碳回收率； 步驟4：將步驟3中含有少量雜質(zhì)的六氟乙烷依次經(jīng)過(guò)汽化器（400）汽化后進(jìn)入緩沖罐（500）；并使用隔膜式壓縮機(jī)（600）增壓將所述緩沖罐（500）中的六氟乙烷進(jìn)入帶壓運(yùn)行的吸附塔（700）；所述吸附塔（700）的吸附溫度為常溫； 步驟5：將所述吸附塔（700）吸附后的六氟乙烷氣體再經(jīng)過(guò)預(yù)冷器（800）預(yù)冷后依次通過(guò)高沸精餾塔（900）和低沸精餾塔（1000）去除雜質(zhì)； 步驟6：將經(jīng)過(guò)步驟5的六氟乙烷氣體檢測(cè)合格后通入低溫產(chǎn)品儲(chǔ)罐（1100），并使用液體泵（1200）將所述低溫產(chǎn)品儲(chǔ)罐（1100）合格六氟乙烷氣體經(jīng)再次精密過(guò)濾后充裝到產(chǎn)品包裝容器（1300）內(nèi)。 2.如權(quán)利要求1所述的一種從四氟化碳生產(chǎn)工業(yè)廢氣中回收提純電子級(jí)六氟乙烷的生產(chǎn)方法，其特征在于： 所述吸附塔（700）的吸附壓力為0.15～0.80MPa;所述吸附塔（700）中裝填分子篩吸附劑，所述分子篩吸附劑選自3A分子篩、4A分子篩、 5A分子篩、NaX分子篩和13X分子篩中的至少一種。 3.如權(quán)利要求1所述的一種從四氟化碳生產(chǎn)工業(yè)廢氣中回收提純電子級(jí)六氟乙烷的生產(chǎn)方法，其特征在于： 所述高沸精餾塔（900）用于去除夾雜在六氟乙烷氣體中的高沸點(diǎn)雜質(zhì)；高沸點(diǎn)雜質(zhì)生產(chǎn)在所述高沸精餾塔