設(shè)備介紹
KJ-CVD 是一種分體式管式爐,配備 60mm 直徑的石英管、
真空泵和四通道質(zhì)量流量計(jì)氣體流動(dòng)系統(tǒng)。 可混合1-6種氣體進(jìn)行CVD??頒VD生長(zhǎng)系統(tǒng)適用于CVD工藝,如
碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測(cè)試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長(zhǎng)、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結(jié)等實(shí)驗(yàn)。
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
雙層殼體上開(kāi)啟結(jié)構(gòu)
雙層殼體上開(kāi)啟結(jié)構(gòu),取放爐管方便,裝有風(fēng)冷系統(tǒng),爐子外殼溫度保持安全范圍內(nèi)
控溫精度可達(dá)±1℃
控溫系統(tǒng)采用PID方式調(diào)節(jié),可以設(shè)置30段升降溫程序,控溫精度可以達(dá)到±1℃
剛玉材質(zhì)爐管
爐管采用剛玉材質(zhì),工作溫度可達(dá)1500度,具有高溫穩(wěn)定性和耐腐蝕性,加熱均勻性好
技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品名稱 1600 CVD 系統(tǒng)
產(chǎn)品型號(hào) KJ-T1600 CVD
管式爐 顯示 LED
爐體 分體式和上部可以打開(kāi)
最高溫度 1600℃
工作溫度 ≤1500℃
升溫速率 建議 0~10℃/min
溫區(qū) 300mm(其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制)
加熱元件 硅鉬棒
熱電偶 B 型
溫度控制精度 ±1℃
爐管 80 x 1000mm (外徑 x 長(zhǎng)度)
(其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制)
溫度控制 通過(guò)可控硅功率控制進(jìn)行PID自動(dòng)控制
加熱曲線 30 步可編程
真空法蘭 帶閥門的不銹鋼真空法蘭
真空泵系統(tǒng) 旋片真空泵+擴(kuò)散真空泵 真空泵組:極限真空10-6 Torr。
質(zhì)量流量計(jì) 四個(gè)精密質(zhì)量流量計(jì):
底殼安裝1個(gè)氣體混合罐,底殼左側(cè)安裝6個(gè)不銹鋼針閥,手動(dòng)控制6種氣體混合。