本公開提供了一種晶圓探測數(shù)據(jù)的處理方法和計算機可讀存儲介質(zhì)，涉及晶片制造技術(shù)領(lǐng)域。其中，晶圓探測數(shù)據(jù)的處理方法包括：確定已完成的晶圓探測過程中產(chǎn)生的新失效位元；獲取新失效位元的修補記錄，以及新失效位元的相鄰位元的修補記錄；解析修補記錄，以確定新失效位元和相鄰位元的屬性信息，屬性信息包括位置信息、備用電路信息、新失效位元的單元圖形和晶圓探測流程中的至少一種；根據(jù)屬性信息進行分類學(xué)習(xí)，以獲取失效位元預(yù)測模型；通過失效位元預(yù)測模型對待進行晶圓探測的失效位元進行預(yù)測。通過本公開的技術(shù)方案，提高了預(yù)測失效位元的可靠性，有利于提升晶圓產(chǎn)品的成品率。